[发明专利]一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法有效
申请号: | 202111615084.6 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN114526864B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 许鹏;李兵;李赏 | 申请(专利权)人: | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
主分类号: | G01M1/14 | 分类号: | G01M1/14;F04D27/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 刘海尧 |
地址: | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及真空获得设备技术领域,具体涉及一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法。一种动平衡调试泵壳,具有侧壁,所述侧壁的一端具有用于与待测分子泵的泵体密封连接的开口端,所述侧壁的另一端具有端盖;所述侧壁上与所述待测分子泵的涡轮上的平衡钉孔相对的位置处,设有能够开启的调试孔;所述调试孔上设有可拆卸的压盖,所述压盖与所述调试孔的四周之间设有第一密封圈。本发明提供的动平衡调试泵壳,使分子泵整机动平衡测试中,测试人员无需反复拆装分子泵的泵壳,只需通过调试孔在相应位置的平衡钉孔处增加或减少平衡钉,就可进行分子泵动平衡调试,有效减少测试中的分子泵泵壳的拆装时间以提升测试效率,还可减轻测试人员的劳动强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 动平衡 调试 具有 装置 方法 | ||
【主权项】:
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