[发明专利]一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法

说明书

本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法。一种动平衡调试泵壳，具有侧壁，所述侧壁的一端具有用于与待测分子泵的泵体密封连接的开口端，所述侧壁的另一端具有端盖；所述侧壁上与所述待测分子泵的涡轮上的平衡钉孔相对的位置处，设有能够开启的调试孔；所述调试孔上设有可拆卸的压盖，所述压盖与所述调试孔的四周之间设有第一密封圈。本发明提供的动平衡调试泵壳，使分子泵整机动平衡测试中，测试人员无需反复拆装分子泵的泵壳，只需通过调试孔在相应位置的平衡钉孔处增加或减少平衡钉，就可进行分子泵动平衡调试，有效减少测试中的分子泵泵壳的拆装时间以提升测试效率，还可减轻测试人员的劳动强度。

技术领域

本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法。

背景技术

磁悬浮分子泵作为真空获得设备，其工作原理是利于高速旋转的涡轮转子，将动量传递给气体分子，气体分子以一定的速度，定向排出真空腔室。

磁悬浮分子泵的动平衡调试，是保证分子泵合格的一个重要环节，也是保证分子泵安全允许的关键工艺。磁悬浮分子泵中，转子转速高达20000－30000r/min，需要采用高精度动平衡仪或位移监控软件进行操作。

在对磁悬浮分子泵动平衡测试中，需要保持泵内密封，且由于转子转速在12000r/min以上，因此，在泵体上需要密封安装上泵壳。

然而，在对磁悬浮分子泵进行整机动平衡调试过程中，测试人员需要反复在涡轮的平衡钉孔上加装平衡钉来抵消转子的不平衡量，因此需要反复拆装泵壳，导致测试时间长，整体测试效率较低。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的磁悬浮分子泵在整机动平衡测试时，为了在涡轮的平衡钉孔上加装平衡钉，测试人员需要反复拆装分子泵的泵壳，导致测试时间长，整体测试效率较低的缺陷，从而提供一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法。

为了解决上述问题，本发明提供了一种动平衡调试泵壳，包括：

具有侧壁，所述侧壁的一端具有用于与待测分子泵的泵体密封连接的开口端，所述侧壁的另一端具有端盖；

所述侧壁上与所述待测分子泵的涡轮上的平衡钉孔相对的位置处，设有能够开启的调试孔；所述调试孔上设有可拆卸的压盖，所述压盖与所述调试孔的四周之间设有第一密封圈。

可选地，所述第一密封圈套设在中心支架上，所述中心支架的外壁上具有用于卡接所述第一密封圈的半弧形凹槽。

可选地，所述中心支架可拆卸的连接在所述调试孔上。

可选地，所述中心支架的端部具有沿轴向延伸的用于插入所述调试孔内和/或用于插入所述压盖内的延伸边。

可选地，所述开口端具有用于容纳第二密封圈的限位槽，所述限位槽为燕尾槽。

可选地，所述压盖上具有对称设置的弧形通孔，所述动平衡调试泵壳的侧壁上具有用于穿过所述弧形通孔的卡接柱，所述卡接柱的端部具有用于卡接所述压盖的折弯结构，所述折弯结构的用于与所述压盖配合的接触面具有至少部分段为斜面或弧形面。

可选地，所述端盖上具有至少部分为能够使速度检测探头的检测光穿过的透明部分。

还提供了一种磁悬浮分子泵整机动平衡调试装置，包括：

抽真空机构，用于对待测分子泵的内部进行抽真空；

上述动平衡调试泵壳；

监测装置，具有连接在所述动平衡调试泵壳上的测振探头和连接在所述动平衡调试泵壳的端盖的速度检测探头。

可选地，所述测振探头在所述动平衡调试泵壳的调试孔的沿轴向方向的两端分别至少设置有一个。