[发明专利]一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法

权利要求书

1.一种动平衡调试泵壳，其特征在于，具有侧壁，所述侧壁的一端具有用于与待测分子泵的泵体(2)密封连接的开口端，所述侧壁的另一端具有端盖(4)；

所述侧壁上与所述待测分子泵的涡轮上的平衡钉孔相对的位置处，设有能够开启的调试孔(15)；所述调试孔(15)上设有可拆卸的压盖(13)，所述压盖(13)与所述调试孔(15)的四周之间设有第一密封圈(14)，所述第一密封圈(14)套设在中心支架(16)上，所述中心支架(16)的外壁上具有用于卡接所述第一密封圈(14)的半弧形凹槽(12)。

2.根据权利要求1所述的动平衡调试泵壳，其特征在于，所述中心支架(16)可拆卸的连接在所述调试孔(15)上。

3.根据权利要求2所述的动平衡调试泵壳，其特征在于，所述中心支架(16)的端部具有沿轴向延伸的用于插入所述调试孔(15)内和/或用于插入所述压盖(13)内的延伸边(20)。

4.根据权利要求2－3中任一项所述的动平衡调试泵壳，其特征在于，所述开口端具有用于容纳第二密封圈(22)的限位槽(23)，所述限位槽(23)为燕尾槽。

5.根据权利要求2－3任一项所述的动平衡调试泵壳，其特征在于，所述压盖(13)上具有对称设置的弧形通孔(21)，所述动平衡调试泵壳(3)的侧壁上具有用于穿过所述弧形通孔(21)的卡接柱(17)，所述卡接柱(17)的端部具有用于卡接所述压盖(13)的折弯结构(18)，所述折弯结构(18)的用于与所述压盖(13)配合的接触面(19)具有至少部分段为斜面或弧形面。

6.根据权利要求2－3中任一项所述的动平衡调试泵壳，其特征在于，所述端盖(4)上具有至少部分为能够使速度检测探头(9)的检测光穿过的透明部分。

7.一种分子泵整机动平衡调试装置，其特征在于，包括：

抽真空机构(1)，用于对待测分子泵的内部进行抽真空；

权利要求1－6中任一项所述的动平衡调试泵壳(3)；

监测装置，具有连接在所述动平衡调试泵壳(3)上的测振探头(10)和连接在所述动平衡调试泵壳(3)的端盖(4)的速度检测探头(9)。

8.根据权利要求7所述的分子泵整机动平衡调试装置，其特征在于，所述测振探头(10)在所述动平衡调试泵壳(3)的调试孔(15)的沿轴向方向的两端分别至少设置有一个。

9.一种分子泵整机动平衡调试方法，其特征在于：采用权利要求7－8中任一项所述的分子泵整机动平衡调试装置，包括以下步骤：

将待测分子泵的泵壳(3)替换为动平衡调试泵壳(3)；

通过抽真空机构(1)对分子泵的内部进行抽真空；

启动分子泵，通过监测装置对分子泵的转速进行监测，当分子泵的涡轮转速达到预设转速时，记录其振动情况；

通过动平衡调试泵壳(3)的调试孔(15)在分子泵的涡轮的平衡钉孔处加装平衡钉；

再次启动分子泵，记录其振动情况，和加装平衡钉，直至其振动合格。