[发明专利]一种干式真空泵冷却系统有效
| 申请号： | 202111595538.8 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114396372B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 孔祥玲;杨帆;王云;钟瑞;李鹏明 | 申请（专利权）人： | 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B39/06 | 分类号： | F04B39/06;H02K9/19 |
| 代理公司： | 南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32606 | 代理人： | 王薇薇 |
| 地址： | 226300 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干式真空泵冷却系统，涉及真空泵冷却技术领域，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，泵体通过电机驱动，循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置。在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 冷却系统 | ||
【主权项】：
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