[发明专利]一种干式真空泵冷却系统有效
申请号: | 202111595538.8 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN114396372B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 孔祥玲;杨帆;王云;钟瑞;李鹏明 | 申请(专利权)人: | 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 |
主分类号: | F04B39/06 | 分类号: | F04B39/06;H02K9/19 |
代理公司: | 南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32606 | 代理人: | 王薇薇 |
地址: | 226300 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空泵 冷却系统 | ||
1.一种干式真空泵冷却系统,其特征在于,包括底座(1)和从左到右依次设置于底座(1)顶部的泵体(2)、电机(3)与循环冷却装置(4),所述泵体(2)通过电机(3)驱动,所述循环冷却装置(4)中的冷却管分别设置于电机(3)外壳和泵体(2)的出气口处,所述电机(3)右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置(5),所述泵体(2)右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置(6),所述循环冷却装置(4)、第一开启装置(5)和第二开启装置(6)均与控制面板(7)电连接;
所述第一开启装置(5)包括设置于底座(1)顶部的安装箱(51)、设置于电机(3)右侧的冷却管中的阀门(52)和水流检测机构(53),所述水流检测机构(53)位于阀门(52)的左侧,所述安装箱(51)内壁上端设置有密封筒(54),所述密封筒(54)内设置有活塞,活塞的右侧设置有贯穿密封筒(54)右端的活塞板(55),所述密封筒(54)的内壁左侧设置有第一导热片(56),所述第一导热片(56)远离活塞的一端与电机(3)表面接触,所述密封筒(54)左上端内开设有进气口,进气口内嵌设有气嘴,所述密封筒(54)左上端表面设置有与进气口连通的通气管,通气管伸出电机(3)的保护罩外,所述活塞与密封筒(54)之间设置有第一复位弹簧;
所述阀门(52)包括阀壳(521)、转动设置于阀壳(521)内的球状阀芯(522)和设置于球状阀芯(522)顶部的转杆(523),所述转杆(523)顶部设置有第一齿轮(57),所述活塞板(55)的前侧设置有与第一齿轮(57)啮合的多个齿块,所述球状阀芯(522) 内开设有与冷却管连通的通槽;
所述水流检测机构(53)包括与冷却管连通的壳体(531)和转设置于壳体(531)内的螺纹杆(532),所述螺纹杆(532)底部设置有液压传感器(535),所述螺纹杆(532)顶部贯穿壳体(531)上端,且螺纹杆(532)顶部与壳体(531)上端螺纹连接,所述螺纹杆(532)顶部设置有滑块,所述滑块上下滑动设置于转轴(533)内,所述转轴(533)转动设置于壳体(531)顶部,所述转轴(533)上部设置有第三齿轮(534),所述第三齿轮(534)与转杆(523)上的第二齿轮(524)啮合连接;所述滑块的横截面为非圆状。
2.根据权利要求1所述的一种干式真空泵冷却系统,其特征在于,所述循环冷却装置(4)的动力源通过控制开关控制,所述安装箱(51)内设置有用于触发控制开关的触发机构(59),所述触发机构(59)包括设置于活塞板(55)顶部的导向座(591)、左右滑动设置于导向座(591)内的T型滑板(592)和设置于安装箱(51)内的固定板(593),所述固定板(593)左侧设置有固定式触点,所述T型滑板(592)右侧设置有与固定式触点接触的活动式触点,所述T型滑板(592)与导向座(591)之间设置有第二复位弹簧。
3.根据权利要求2所述的一种干式真空泵冷却系统,其特征在于,所述第二开启装置(6)与第一开启装置(5)结构一致,其中第二开启装置(6)中的第二导热片(61)与泵体(2)接触,所述第二导热片(61)嵌设于密封箱(62)内,所述密封箱(62)右上端通过保温式气管(63)与第二开启装置(6)中的密封筒(54)右下端连通,所述第二开启装置(6)中的密封筒(54)位于安装箱(51)的右侧。
4.根据权利要求3所述的一种干式真空泵冷却系统,其特征在于,所述控制面板(7)安装于循环冷却装置(4)前侧,所述控制面板(7)内设置有处理器和继电器,所述控制面板(7)前侧设置有显示屏和按键,所述显示屏和按键均与处理器电连接;
所述液压传感器(535)的输出端以及第二开启装置(6)与第一开启装置(5)中的控制器均与处理器的输入端电连接,所述处理器的输出端与继电器的输入端电连接,所述继电器的输出端与循环冷却装置(4)中的水泵电连接。
5.根据权利要求1所述的一种干式真空泵冷却系统,其特征在于,所述螺纹杆(532)底部设置有防水罩(536),所述液压传感器(535)安装于防水罩(536)的内部,且液压传感器(535)的感应部位贯穿防水罩(536)的底端,所述防水罩(536)的底端内开设有通孔,所述通孔内壁设置有用于抱紧液压传感器(535)的感应部位的防水圈。
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