[发明专利]一种干式真空泵冷却系统

说明书

本发明公开了一种干式真空泵冷却系统，涉及真空泵冷却技术领域，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，泵体通过电机驱动，循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置。在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。

技术领域

本发明涉及真空泵冷却技术领域，尤其涉及一种干式真空泵冷却系统。

背景技术

无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

由于在半导体工艺中,使用的气体往往都是比较高的温度，高温气体经过反应腔进入泵体内部,最后经泵的排气口排出，因此气体将部分热量传给了干泵,同时由于干泵自身也不断压缩气体,产生大量热量,这些热量也有很大一部分传导到泵体上，经过多方面的热量传导干泵自身的温度就比较高,使得泵体内部的零部件由于高温而变形,这对泵自身的寿命以及人员安全都造成威胁，且驱动干泵的电机在工作时也会产生热量，影响电机的寿命，故而需要对泵体和电机进行冷却，现有的冷却大多是通过循环冷却装置进行冷却，由于电机和泵体的对冷却液的需求不同，故而需要操作人员实时的监测热量的具体情况，以此控制冷却液的流量，导致冷却工作较为繁琐。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中不足的问题，而提出的一种干式真空泵冷却系统。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种干式真空泵冷却系统，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，所述泵体通过电机驱动，所述循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，所述电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，所述泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置，所述循环冷却装置、第一开启装置和第二开启装置均与控制面板电连接；

所述第一开启装置包括设置于底座顶部的安装箱、设置于电机右侧的冷却管中的阀门和水流检测机构，所述水流检测机构位于阀门的左侧，所述安装箱内壁上端设置有密封筒，所述密封筒内设置有活塞，活塞的右侧设置有贯穿密封筒右端的活塞板，所述密封筒的内壁左侧设置有第一导热片，所述第一导热片远离活塞的一端与电机表面接触，所述密封筒左上端内开设有进气口，进气口内嵌设有气嘴，所述密封筒左上端表面设置有与进气口连通的通气管，通气管伸出电机的保护罩外，所述活塞与密封筒之间设置有第一复位弹簧；

所述阀门包括阀壳、转动设置于阀壳内的球状阀芯和设置于球状阀芯顶部的转杆，所述转杆顶部设置有第一齿轮，所述活塞板的前侧设置有与第一齿轮啮合的多个齿块，所述球状阀芯内开设有与冷却管连通的通槽；

所述水流检测机构包括与冷却管连通的壳体和转设置于壳体内的螺纹杆，所述螺纹杆底部设置有液压传感器，所述螺纹杆顶部贯穿壳体上端，且螺纹杆顶部与壳体上端螺纹连接，所述螺纹杆顶部设置有滑块，所述滑块上下滑动设置于转轴内，所述转轴转动设置于壳体顶部，所述转轴上部设置有第三齿轮，所述第三齿轮与转杆上的第二齿轮啮合连接；所述滑块的横截面为非圆状。

进一步，所述循环冷却装置的动力源通过控制开关控制，所述安装箱内设置有用于触发控制开关的触发机构，所述触发机构包括设置于活塞板顶部的导向座、左右滑动设置于导向座内的T型滑板和设置于安装箱内的固定板，所述固定板左侧设置有固定式触点，所述T型滑板右侧设置有与固定式触点接触的活动式触点，所述T型滑板与导向座之间设置有第二复位弹簧。