[发明专利]一种太阳能电池退火方法及退火设备在审
| 申请号： | 202111585569.5 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114420787A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴帅 | 申请（专利权）人： | 西安隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市国家民用*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种太阳能电池退火方法及退火设备，涉及太阳能光伏技术领域。其中，在第一工艺时间内向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳，再在第二工艺时间对基底进行光注入，超临界二氧化碳密度高，对氢气的溶解度高，能够将氢更好地传递到基底上，从而避免了氢溢出问题，增强了氢钝化作用，通过光注入进行氢激发后，能够充分饱和基底的缺陷，降低复合损失，从而提升了钝化效果，提高了电池的转换效率与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 退火 方法 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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