[发明专利]一种太阳能电池退火方法及退火设备

权利要求书

1.一种太阳能电池退火方法，其特征在于，所述方法包括：

在第一工艺时间内向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳；

在第二工艺时间内对所述基底进行光注入。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳，包括：

在50℃-150℃的温度下，将基底置于氢气气氛中；

以1100psi-2100psi的压强向基底通入超临界二氧化碳，反应第一工艺时间。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一工艺时间为5min-35min。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入，包括：

在200℃-300℃的温度下，采用光源对所述基底进行辐照第二工艺时间，所述光源包括卤素灯、红外灯管中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二工艺时间为5min-10min。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，还包括：

对所述基底进行丝网印刷制备电极。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，还包括：

在第三工艺时间内冷却所述基底。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第三工艺时间为10min-35min。

9.一种退火设备，其特征在于，所述退火设备包括第一反应室和第二反应室，所述退火设备用于实现如权利要求1-8任一所述的太阳能电池退火方法，所述方法包括：

将基底置于所述第一反应室中，对所述第一反应室抽真空处理通入氢气，使所述基底处于氢气气氛中；

向所述第一反应室中通入超临界二氧化碳，反应第一工艺时间；

将基底从所述第一反应室传输到第二反应室，在第二工艺时间内对所述基底进行光注入。

10.根据权利要求9所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括第三反应室，所述将基底从所述第一反应室传输到第二反应室，在所述第二反应室中在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，所述方法还包括：

将所述基底传输到所述第三反应室，在所述第三反应室中对所述基底冷却第三工艺时间。