[发明专利]一种太阳能电池退火方法及退火设备

说明书

本发明提供了一种太阳能电池退火方法及退火设备，涉及太阳能光伏技术领域。其中，在第一工艺时间内向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳，再在第二工艺时间对基底进行光注入，超临界二氧化碳密度高，对氢气的溶解度高，能够将氢更好地传递到基底上，从而避免了氢溢出问题，增强了氢钝化作用，通过光注入进行氢激发后，能够充分饱和基底的缺陷，降低复合损失，从而提升了钝化效果，提高了电池的转换效率与稳定性。

技术领域

本发明涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种太阳能电池退火方法及退火设备。

背景技术

在太阳能电池的制备工艺中退火是一种广泛应用的后处理方法，在退火中可以引起太阳能电池缺陷态的变化，提升太阳能电池的功率。

目前，太阳能电池光伏领域主要在丝网印刷后采用氢退火处理，但是，目前氢退火工艺可能出现氢溢出的问题，不能充分修复太阳能电池的缺陷，使得太阳能电池的效率稳定性差，在组件封装后出现效率回落的问题，导致电池质量较差。

发明内容

本发明提供一种太阳能电池退火方法及退火设备，旨在提升充分修复太阳能电池的缺陷，提高太阳能电池的效率稳定性，提升电池质量。

第一方面，在本发明实施中提供了一种太阳能电池退火方法，该方法可以包括：

在第一工艺时间内向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳；

在第二工艺时间内对所述基底进行光注入。

可选地，所述向处于氢气气氛中的基底通入超临界二氧化碳，包括：

在50℃-150℃的温度下，将基底置于氢气气氛中；

以1100psi-2100psi的压强向基底通入超临界二氧化碳，反应第一工艺时间。

可选地，所述第一工艺时间为5min-35min。

可选地，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入，包括：

在200℃-300℃的温度下，采用光源对所述基底进行辐照第二工艺时间，所述光源包括卤素灯、红外灯管中的至少一种。

可选地，所述第二工艺时间为5min-10min。.

可选地，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，还包括：

对所述基底进行丝网印刷制备电极。

可选地，所述在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，还包括：

在第三工艺时间内冷却所述基底。

可选地，所述第三工艺时间为10min-35min。

第二方面，在本发明实施中提供了一种退火设备，该退火设备包括第一反应室和第二反应室，该退火设备用于实现第一方面所述的太阳能电池退火方法，该方法可以包括：

将基底置于所述第一反应室中，对所述第一反应室抽真空处理通入氢气，使所述基底处于氢气气氛中；

向所述第一反应室中通入超临界二氧化碳，反应第一工艺时间；

将基底从所述第一反应室传输到第二反应室，在第二工艺时间内对所述基底进行光注入。

可选地，所述退火设备还包括第三反应室，所述将基底从所述第一反应室传输到第二反应室，在所述第二反应室中在第二工艺时间内对所述基底进行光注入之后，所述方法还包括：

将所述基底传输到所述第三反应室，在所述第三反应室中对所述基底冷却第三工艺时间。