[发明专利]一种方形基片夹持装置

摘要

本发明提供一种方形基片夹持装置，用于在方形基片表面旋转涂覆流动介质。该装置包括固定基片座和辅助定位盘。所述固定基片座底部为传动件，用于该装置与电机旋转轴之间的传动连接。传动件连接带有通孔的圆形托盘，圆形托盘上有定位台阶，其外轮廓为半圆，内部有矩形凹槽，与方形基片贴合，用于基片定位。辅助定位盘形状与定位台阶形状互为镜像，底部具有凸出结构，其形状与圆形托盘上通孔匹配。圆形托盘定位台阶深度与基片厚度相同，固定基片座、方形基片和辅助定位盘组合后形成光滑平坦的上表面，且外轮廓为圆柱形，可提高流动介质在基片表面旋转涂覆的均匀性。