[发明专利]一种方形基片夹持装置

权利要求书

1.一种方形基片夹持装置，用于在方形基片表面旋转涂覆流动介质，其特征在于，包括固定基片座(1)和辅助定位盘(2)，其中：

所述固定基片座(1)包括传动件(11)、带有通孔的圆形托盘(12)和定位台阶(13)，所述固定基片座(1)底部为传动件(11)，用于该装置与电机旋转轴之间的传动连接；传动件(11)连接带有通孔的圆形托盘(12)，带有通孔的圆形托盘(12)上有定位台阶(13)，定位台阶(13)外轮廓为半圆，定位台阶(13)内部有矩形凹槽，与方形基片(3)贴合，用于方形基片(3)定位；

辅助定位盘(2)包括辅助定位盘盘体(21)和底部凸出结构(22)，底部凸出结构(22)的形状与带有通孔的圆形托盘(12)上通孔形状匹配，且高度长于通孔深度4mm-5mm，便于辅助定位盘(2)与固定基片座(1)脱离；通孔和底部凸出结构(22)的形状可以是圆形，也可以是其他形状，辅助定位盘盘体(21)高度与方形基片(3)厚度相同，辅助定位盘盘体(21)外部轮廓为半圆，辅助定位盘盘体(21)直径与带有通孔的圆形托盘(12)上定位台阶(13)外轮廓半圆直径相同；辅助定位盘盘体(21)内部直边有矩形凹槽，定位台阶深度与方形基片厚度相同，固定基片座、方形基片和辅助定位盘组合后形成光滑平坦的上表面，且外轮廓为圆柱形，可提高流动介质在基片表面旋转涂覆的均匀性。

2.根据权利要求1所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述固定基片座(1)和辅助定位盘(2)，其表面粗糙度Rz小于1.6微米。

3.根据权利要求1所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述固定基片座(1)上带有通孔的圆形托盘(12)，其直径大于方形基片(3)外接圆直径，小于定位台阶(13)外部半圆形轮廓直径。

4.根据权利要求3所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述固定基片座(1)上定位台阶(13)，其外部轮廓为半圆，其圆心与传动件(11)中心重合；内部直边有矩形凹槽，矩形凹槽宽度与方形基片(3)边长相同，矩形凹槽深度为方形基片(3)边长一半。

5.根据权利要求4所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述固定基片座(1)上定位台阶(13)，其高度与方形基片(3)厚度相同。

6.根据权利要求1所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述辅助定位盘(2)底部有底部凸出结构(22)，形状与带有通孔的圆形托盘(12)通孔相同，且高度长于通孔深度。

7.根据权利要求6所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述辅助定位盘盘体(21)外部轮廓为半圆，其直径与带有通孔的圆形托盘(12)上定位台阶(13)外轮廓半圆直径相同；内部直边有矩形凹槽，宽度与方形基片(3)边长相同，深度为方形基片(3)边长一半。

8.根据权利要求7所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述辅助定位盘(2)的辅助定位盘盘体(21)高度与方形基片(3)厚度相同。

9.根据权利要求8所述的一种方形基片夹持装置，其特征在于：所述辅助定位盘(2)能够与固定基片座(1)配合，形成一个方形凹槽，方形凹槽尺寸与方形基片(3)相同，方形凹槽中心与固定基片座(1)的传动件(11)中心重合。