[发明专利]一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置有效
| 申请号： | 202111564393.5 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114227485B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 畅家盛;周洪英 | 申请（专利权）人： | 连云港国伦石英制品有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B27/033;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/00;B24B55/06;C30B15/00;C30B29/06;C30B28/10;B01D29/03;B01D29/52 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 雒盛林 |
| 地址： | 222000 江苏省连*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座上，所述余热利用箱的上端嵌合固定有加热坩埚炉；所述集成底座的上端固定安装有水处理器和冲洗箱；包括：送料管，其对应固定安装在所述水处理器的上端左右两侧；吊装架，其对应设置在集成底座的正上端位置；前侧固定框，其嵌合贯穿安装在所述冲洗箱的前侧面。该大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，采用新型的结构设计，使得本装置将石英器件的成型工艺和清洗工艺相互综合，提高装置生产加工的效率，同时装置中设置有污水处理和硅料回收利用设备，其可以提高装置生产应用的环保性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 硅片 氧化 掺杂 石英 器件 成型 加工 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于连云港国伦石英制品有限公司，未经连云港国伦石英制品有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111564393.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
