[发明专利]一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置

权利要求书

1.一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座上，所述集成底座的上端通过安装架与余热利用箱固定连接，所述余热利用箱的上端嵌合固定有加热坩埚炉；

所述集成底座的上端固定安装有水处理器和冲洗箱，所述水处理器和冲洗箱的侧面通过导水管相互连接，所述水处理器的左侧贯通连接有控制污水排放的排水管，并且所述水处理器的侧面通过导气管与余热利用箱内部贯通连接；

其特征在于，包括：

送料管，其对应固定安装在所述水处理器的上端左右两侧，且所述送料管的下端安装有导料斜管，并且所述导料斜管的侧面出料口与加热坩埚炉上端相互对应；

吊装架，其对应设置在集成底座的正上端位置，且所述吊装架的下端固定安装有直线滑杆，并且所述直线滑杆的外部套设有直线调节块，并且所述直线调节块的侧面与直线电机驱动带侧面相互连接，同时所述直线电机驱动带嵌合安装在所述吊装架的内部，所述直线调节块的下表面固定安装有籽晶棒提拉器；

前侧固定框，其嵌合贯穿安装在所述冲洗箱的前侧面，且所述前侧固定框的内部转动连接有打磨盘，并且前侧固定框的下端转动连接有纵向螺纹轴杆，所述冲洗箱的后侧面嵌合固定有后侧固定框，且所述后侧固定框的内部固定有清洗喷淋管；

所述冲洗箱的内外侧还设置有限位架、固定架和内调节架：

限位架，其设置在所述冲洗箱的前侧面，且所述限位架套设在所述纵向螺纹轴杆的外部，并且所述限位架的左右两侧对称固定有外调节杆，所述外调节杆贯穿设置在所述冲洗箱的侧面；

固定架，其固定安装在左右两侧外调节杆的前侧，且所述固定架的内侧转动安装有横向螺纹轴杆，并且所述固定架的两侧内部贯穿连接有驱动杆，所述驱动杆的侧面固定安装有上夹持防护块；

内调节架，其固定安装在所述外调节杆的内侧面，且所述内调节架的下表面转动安装有驱动齿轮，并且所述内调节架的下端内部贯穿转动安装有传动盘，所述传动盘的外部焊接固定有传动齿环；

所述传动盘的外侧通过传动齿环与驱动齿轮啮合连接，且所述传动盘的侧面贯穿连接有限位杆，并且所述限位杆的上端外侧面焊接固定有下夹持块，所述限位杆的下端侧面固定安装有凸块，以及所述凸块固定安装在自动伸缩杆的侧面伸缩端，同时所述自动伸缩杆固定安装在所述传动盘的内部；

所述水处理器的内部还设置有分割块和传输管：

分割块，其嵌合固定安装在所述水处理器的内部，且所述分割块的侧壁内部固定安装有金属导热棒，并且所述分割块的下端内部嵌合固定有滤水网；

传输管，其贯穿嵌合设置在所述分割块的内部中间位置，且所述传输管的内部转动设置有中间螺旋输料杆，所述中间螺旋输料杆转动连接在水处理器的内部中间位置，并且所述分割块的左右两侧内部对应转动设置有边侧螺旋输料杆，所述边侧螺旋输料杆转动安装在送料管的内部，所述传输管的上端外侧面固定安装有引导块；

所述驱动杆与固定架构成横向伸缩滑动结构，且所述驱动杆与所述横向螺纹轴杆构成螺纹传动结构，并且所述固定架与外调节杆固定为一体化结构，同时所述外调节杆与所述冲洗箱构成上下滑动结构，以及所述外调节杆的下端通过限位架与所述纵向螺纹轴杆构成螺纹传动结构；

所述中间螺旋输料杆控制水处理器底部的物质转动输送至分割块的内部空间，所述分割块左右两侧内部积累的硅料通过边侧螺旋输料杆转动输送至送料管的内部。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述下夹持块通过限位杆与凸块固定为一体化结构，且所述限位杆与所述传动盘构成滑动结构，并且所述限位杆等角度在传动盘的侧面贯穿设置有4个。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述水处理器内部的过滤物料通过送料管输送至导料斜管的内部，所述导料斜管内部物料通过斜面向下滑动回收进入加热坩埚炉的内部。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述分割块将水处理器的内部分割成上下两处空间，所述水处理器下端排水空间下表面呈倾斜状结构，并且所述水处理器上端过滤空间通过滤水网与下端排水空间构成相互贯通结构。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述金属导热棒内侧面贴合设置在分割块的侧壁内部，且所述金属导热棒嵌合在分割块的内部空间通过导气管与余热利用箱的内部相互贯通。