[发明专利]一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法有效

专利信息
申请号: 202111561197.2 申请日: 2021-12-20
公开(公告)号: CN113943919B 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 杨欢;潘锦功;傅干华;孙庆华;吕延坤 申请(专利权)人: 邯郸中建材光电材料有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/54;H01L31/0216
代理公司: 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 代理人: 胡庆波
地址: 056000 河北省邯郸市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明属于发电玻璃镀膜技术领域,公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机,包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室,所述AR膜镀制腔室连通有至少一个MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室,所述MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室沿AR膜镀制腔室内发电玻璃的移动方向依次设置;还公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。本发明可使得镀制而成的AR膜具有更好的附着力、均匀性、增透效果和光电转换效率,而且也提升了AR膜的使用寿命,同时碲化镉发电玻璃的AR膜和碲化镉薄膜均可在同一台设备上镀制,节约了设备的投入成本,也利用碲化镉高温镀膜的特点,利用余热镀制AR膜,节约了资源。
搜索关键词: 一种 碲化镉 发电 玻璃 ar 镀膜 方法
【主权项】:
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