[发明专利]一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法

权利要求书

1.一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，其特征在于：包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室（10），所述AR膜镀制腔室（10）连通有至少一个MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室（16）和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室（17），所述MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室（16）和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室（17）沿AR膜镀制腔室（10）内发电玻璃（24）的移动方向依次设置；

每个MgF₂靶材蒸发腔室（15）、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室（16）和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室（17）分别通过第二管道（22）连接有载气供给室（18）；

所述AR膜镀制腔室（10）与各个靶材蒸发腔室通过第一管道（14）连通，所述第一管道（14）和第二管道（22）均设有加热和温度检测装置；

所述AR膜镀制腔室（10）内设有至少两个用于隔离不同靶材所蒸发蒸汽的隔离板（23）；相邻两个隔离板（23）之间和隔离板（23）与AR膜镀制腔室（10）侧壁之间均设有蒸发沉积管道（19），每个蒸发沉积管道（19）分别连通一个第一管道（14）；所述蒸发沉积管道（19）位于发电玻璃（24）移动方向的上方；

在AR膜镀膜腔室内设置冷却装置；

所述AR膜镀制腔室（10）的进入端由远及近的依次密封连接且连通有进片锁定腔室（6）、玻璃预热腔室（7）、碲化镉薄膜沉积腔室（8）和降温腔室（9）；所述AR膜镀制腔室（10）的出口端密封连接且连通有出片锁定腔室（11）；所述进片锁定腔室（6）的进口端和出口端分别设有第一门阀（1）和第二门阀（2），所述AR膜镀制腔室的进口端和出口端分别设有第三门阀（3）和第四门阀（4），所述出片锁定腔室（11）的出口端设有第五门阀（5）；所述进片锁定腔室（6）、玻璃预热腔室（7）、降温腔室（9）和出片锁定腔室（11）分别连接有第二抽真空装置。

2.根据权利要求1所述的一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，其特征在于：所述载气供给室（18）所供给的气体为保护气体。

3.根据权利要求1所述的一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，其特征在于：所述第一抽真空装置的抽吸端还与邻近其的一靶材蒸发腔室连通，相邻的两个靶材蒸发腔室之间通过抽空管道（21）连通。

4.根据权利要求1所述的一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，其特征在于：每个靶材蒸发腔室内设有至少一个靶材蒸发坩埚（20），所述靶材蒸发坩埚（20）通过电阻丝加热靶材并使其蒸发。

5.根据权利要求1所述的一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，其特征在于：所述第一抽真空装置和第二抽真空装置分别包括机械泵、罗茨泵、分子泵和扩散泵。

6.一种如权利要求1-5任一项所述的碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机的碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将镀膜机抽真空至真空状态，开启玻璃预热腔室（7）进行预热；

S2：当玻璃预热腔室（7）内温度达到设定温度后，镀膜机开始连续进入玻璃，准备镀制碲化镉薄膜和AR膜；

S3：进片锁定腔室（6）放气至大气压，打开其进口端的第一门阀（1），玻璃进入进片锁定腔室（6）中后关闭第一门阀（1），将进片锁定腔室（6）抽真空至设定真空度，然后打开进片锁定腔室（6）的第二门阀（2），玻璃进入玻璃预热腔室（7），此时玻璃预热腔的真空度在1Pa以下；

S4：玻璃经过玻璃预热腔室（7）预热并达到碲化镉成膜所需的400℃以上温度后，进入到碲化镉薄膜沉积腔室（8）；

S5：在碲化镉薄膜沉积腔室（8），在玻璃的下表面镀制碲化镉薄膜，采用蒸发镀膜法镀制；

S6：镀制完碲化镉薄膜后，玻璃进入到降温腔室（9），缓慢降至100℃以上且300℃以下；

S7：当降至设定温度后，AR膜镀制腔室（10）进口端的第三门阀（3）打开，玻璃进入AR膜镀制腔室（10），在靶材蒸发腔室中加热靶材使其蒸发，并采用氮气为载气，氮气经加热后送至每个靶材蒸发腔室内，靶材蒸发腔室内的蒸汽分子通过氮气带动进入镀膜室并在玻璃表面沉积，在玻璃表面分别沉积形成MgF₂膜层、ZrO₂/SiO₂膜层、Al₂O₃/TiO₂膜层；

S8：镀制完成AR膜层后，出片锁定腔室（11）进入端的第四门阀（4）打开，玻璃进入出片锁定腔室（11）并将出片锁定腔室（11）放气至大气压后，出片锁定腔室（11）出口端的第五门阀（5）打开，玻璃出真空区，进入降温区中降至室温；

S9：在温度为200℃以上的条件下对玻璃上的碲化镉薄膜和AR膜层进行活化。