[发明专利]一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法

说明书

本发明属于发电玻璃镀膜技术领域，公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室，所述AR膜镀制腔室连通有至少一个MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室，所述MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室沿AR膜镀制腔室内发电玻璃的移动方向依次设置；还公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。本发明可使得镀制而成的AR膜具有更好的附着力、均匀性、增透效果和光电转换效率，而且也提升了AR膜的使用寿命，同时碲化镉发电玻璃的AR膜和碲化镉薄膜均可在同一台设备上镀制，节约了设备的投入成本，也利用碲化镉高温镀膜的特点，利用余热镀制AR膜，节约了资源。

技术领域

本发明属于发电玻璃镀膜技术领域，具体涉及一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机以及一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。

背景技术

光伏电池组件受光面所使用玻璃一般为超白玻璃，光透过率可达90%，但是仍有10%的光被反射折射，增透膜的作用是调节两层不同物质之间的光折射率，减少光在界面层的反射，达到增透的效果，大量报道，使用增透膜后普通超白玻璃的光透过率可提高至98%以上，能提高光伏电池光电转换效率，功率可提升10%左右，具有非常实用的效益，已大量在光伏产品上应用，一般均是购买带有AR(增透膜)膜的超白玻璃，或者在镀制光电薄膜之前镀制AR(增透膜)膜。

但是由于碲化镉薄膜发电玻璃的镀膜制造工艺需要高温下镀制，一般玻璃温度需达到400℃以上，在此温度下，一般的增透膜是不耐此温度，其结构将会受到破坏并分解，同时分解的物质也将污染碲化镉薄膜，使其性能受到影响，降低其光电转化效率。故现碲化镉发电玻璃的AR膜一般是在电池组件阶段制备，采用大气状态下喷涂AR溶胶-凝胶膜液，并经过100~200℃下1~2H的烘烤干燥制备，而在大气状态下喷涂AR溶胶-凝胶膜液的方法由于喷涂均匀性以及烘烤时膜液浓度及收缩性不同，易导致膜厚控制不佳，并且在大气压下喷涂，其形成的AR膜层结构较为疏松多孔，而且其与玻璃的附着力较差，导致其寿命不佳，溶胶-凝胶喷涂法制备AR膜耐磨老化测试可达1500次，使得AR膜在碲化镉发电玻璃上应用受到较大限制。

发明内容

为解决现有镀制方法镀制出的AR膜层质量差的问题，本发明目的在于提供一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。

本发明所采用的技术方案为：

一方面，提供一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室，所述AR膜镀制腔室连通有至少一个MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室，所述MgF₂靶材蒸发腔室、ZrO₂/SiO₂靶材蒸发腔室和Al₂O₃/TiO₂靶材蒸发腔室沿AR膜镀制腔室内发电玻璃的移动方向依次设置。