[发明专利]一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法有效
| 申请号： | 202111557233.8 | 申请日： | 2021-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN114149131B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周漪雯;王堃;朱玲慧;刘围 | 申请（专利权）人： | 江苏电科环保有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;C02F101/30 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;李卫萍 |
| 地址： | 214142 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其可有效控制处理工艺过程中进入蒸发器的待处理含氟蚀刻废液COD浓度，保证回收产品的品质、提高含氟蚀刻废液处理工艺的安全性和稳定性；其包括以下步骤，S1：在反应釜中对含氟蚀刻废液进行预处理，然后进入三效蒸发器进行蒸发，得到氟化氢铵浓缩液；S2：氟化氢铵浓缩液经冷却后进入离心机；S3：离心分离得到的氟化氢铵结晶进入干燥设备干燥，得到氟化氢铵；S4：离心分离得到的氟化氢铵母液进入树脂吸附塔进行吸附，得到氟化氢铵净化液，然后与含氟蚀刻废液按照一定流量比回用进入反应釜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 cod 浓度 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
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