[发明专利]一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法

权利要求书

1.一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其包括以下步骤：

S1：在反应釜中对含氟蚀刻废液进行预处理，所述预处理采用氢氟酸与所述含氟蚀刻废液反应，直至pH值为5～6，得到的氟化氢铵溶液进入三效蒸发器进行蒸发，蒸发温度为70～120℃，压强为-0.03～0.08MPa，得到氟化氢铵浓缩液；

S2：所述氟化氢铵浓缩液经冷却至15～25℃后进入离心机；

S3：离心分离得到的氟化氢铵结晶进入干燥设备干燥，得到氟化氢铵；

其特征在于：其还包括，S4：离心分离得到的氟化氢铵母液进入树脂吸附塔进行吸附，得到氟化氢铵净化液，然后按照所述含氟蚀刻废液与所述氟化氢铵净化液的流量比5:1～6:1进入所述反应釜。

2.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S4中，所述树脂吸附塔为顺流吸附，所述氟化氢铵母液进入所述树脂吸附塔的流速为10～15L/h。

3.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S4中，树脂的填充容积为所述树脂吸附塔容积的三分之二。

4.根据权利要求3所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S4中，所述树脂吸附塔连接有碱液罐和冲洗水。

5.根据权利要求4所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：对所述树脂吸附塔的所述树脂先采用所述冲洗水第一次逆流冲洗、然后采用所述碱液罐中的碱液逆流洗涤进行再生，最后采用所述冲洗水第二次逆流冲洗直至所述树脂吸附塔的pH值为7～8并沉降所述树脂。

6.根据权利要求4所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S4中，所述碱液罐采用的碱液是质量浓度为5～10%的氢氧化钠溶液。

7.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S1中，所述氢氟酸是质量分数为40%的氢氟酸。

8.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S1中，所述预处理的氢氟酸与所述含氟蚀刻废液中的氟化铵摩尔比为1:1～1:1.3，常温常压下反应1h。

9.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S2中，所述离心机的转速为3000r/min。

10.根据权利要求1所述的一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其特征在于：S3中，所述干燥设备采用旋风分离器在60～80℃，-1600～-1000Pa下干燥所述氟化氢铵晶体。