[发明专利]一种氧化铟镱钇粉体及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种氧化铟镱钇粉体及其制备方法与应用，属于氧化铟掺杂粉体制备技术领域；本发明的氧化铟镱钇粉体的结构式为In1‑x‑yYbxYyO；其中，0.001≤x≤0.216，0.001≤y≤0.376；另外，氧化铟镱钇粉体的D50＝0.6‑0.8μm，D10≥0.4μm，D90≤1.2μm，粒度分布系数P＝(D90‑D10)/D50≤0.86；本发明的技术方案提供的氧化铟镱钇粉体，选择采用金属钇和金属镱作为掺杂元素掺入氧化铟粉体中，能够避免大粒径稀有元素掺入氧化铟粉体引起的成分不均一、粒径分布不集中的问题，从而可以制备得到成分均一、粒径分布集中的氧化铟镱钇粉体；本发明提供的技术方案提供的氧化铟镱钇粉体的制备工艺简单、制备效率高，因此能直接应用于工业生产，制备得到的产品可用于制备高密度、高均匀度、具备优异光电特性的氧化铟镱钇靶材。