[发明专利]一种氧化铟镱钇粉体及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种氧化铟镱钇粉体，其特征在于，所述氧化铟镱钇粉体的结构式为In_1-x-yYb_xY_yO；

其中，0.001≤x≤0.216，0.001≤y≤0.376；

所述氧化铟镱钇粉体的D₅₀＝0.6-0.8μm，D₁₀≥0.4μm，D₉₀≤1.2μm，粒度分布系数P＝(D₉₀-D₁₀)/D₅₀≤0.86；

所述氧化铟镱钇粉体的原料包括氧化钇、氧化铟和氧化镱，所述氧化钇、氧化镱和氧化铟的质量比为氧化钇：氧化镱：氧化铟＝(0.1-30)：(0.1-30)：(40-99.8)；

所述氧化钇的粒径为120-250nm、纯度在99.99％以上，所述氧化铟的粒径为120-250nm、纯度在99.99％以上，所述氧化镱的粒径为120-250nm、纯度在99.99％以上。

2.如权利要求1所述氧化铟镱钇粉体的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)将氧化钇、氧化镱、第一分散剂加入到纯水中，分散均匀后研磨，得第一混合浆料；

(2)将氧化铟和第二分散剂加入到第一混合浆料中，分散均匀后研磨，得第二混合浆料；

(3)将粘结剂加入到第二混合浆料中，分散均匀后研磨，得第三混合浆料；

(4)将第三混合浆料进行喷雾造粒、混料、筛分，得氧化铟镱钇粉体。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，第一分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠或十六烷基苯磺酸钠；第一分散剂的质量与氧化钇、氧化镱、第一分散剂和纯水的质量之和的比值为(0.02-0.1)：1；第一混合浆料中的固体含量为35-75％。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，第二分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸酯或乙撑基双硬脂酰胺；第二分散剂的质量与氧化铟和第二分散剂的质量之和的比值为(0.02-0.1)：1。

5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，粘结剂为聚乙烯醇和聚乙二醇的混合物、聚乙烯醇或聚乙烯醇缩丁醛；粘结剂的质量与氧化钇、氧化镱和氧化铟的质量之和的比值为(0.01-0.15)：1。

6.如权利要求1所述氧化铟镱钇粉体在制备氧化铟镱钇靶材上的应用。