[发明专利]一种喷射管的清洗方法有效
| 申请号： | 202111538348.2 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114558822B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 叶天爱;余正飞;李长苏 | 申请（专利权）人： | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 汪利胜 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷射管的清洗方法，旨在解决喷射管清洗效果不佳的不足。该发明喷射管清洗过程中，S2进行超声波洗净，可以去除由于其他工序带来的2um以上颗粒污染。S3进行应力刻蚀，采用KOH溶液有效快速的去除污渍，对喷射管的腐蚀倾向小，过程中产生较大的冲击力使污垢迅速剥离，从而能够提高喷射管的清洗效果。S5喷砂过程中对喷射管的全表面进行快速喷扫处理，可以去除产品表面氢氧化钾溶液腐蚀但是没有能够完全的残余薄膜，并且该步骤不会对喷射管表面粗糙度造成较大影响。S7中使用的SC2洗净方法，能够有效的去除喷射管表面的Na、Mg、Fe等相关金属元素。喷射管清洗过程中清洗效果好，能达到理想的清洗要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷射 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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