[发明专利]一种喷射管的清洗方法有效

专利信息
申请号: 202111538348.2 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114558822B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 叶天爱;余正飞;李长苏 申请(专利权)人: 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 汪利胜
地址: 310051 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 喷射 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种喷射管的清洗方法,其特征是,包括以下步骤:

S1,预检查:检测待清洗喷射管产品的外观、尺寸并拍照观察;

S2,超声波洗净:将喷射管放在超声波清洗机中进行超声波清洗,去除产品表面的污渍,从超声波清洗机中取出后纯水冲淋,再吹干;

S3,应力刻蚀:利用KOH腐蚀喷射管表面的氧化层,之后纯水冲淋,再吹干;S3过程中先将与喷射管相同材质的对比样品放入KOH腐蚀液中进行刻蚀,并计算刻蚀时间和减少的厚度,并进行记录;参考对比样品的刻蚀时间和减少的厚度来确定喷射管需要刻蚀的时间;S3过程中将纯水倒入反应槽中,加入KOH溶液进行搅拌,反应槽温度控制在50℃,放入喷射管产品,向反应槽内氮气鼓泡;

S4,表面准备:喷射管再一次放入超声波清洗机中进行热水冲洗,从超声波清洗机中取出后纯水冲淋,去除产品表面残留的碱液,再吹干;且在清洗的过程中加入去离子水,使超声波清洗机保持溢流状态;

S5,喷砂:将喷射管放入喷砂机中,进行喷砂处理,去除产品表面残留物和机加工留下来的刀纹;

S6,表面测量:目视产品,观察产品表面有无明显刀纹,然后用粗糙度检测仪器检测产品表面的粗糙度;

S7,最终洗净:将喷射管放入洗净机中,依次经过洗净机上的SC2槽和DIW槽,去除产品表面的金属离子,之后纯水冲淋,再吹干;

S8,湿式热氧化:将产品用纯水和洁净布擦干净,进行湿热氧化;S8进行湿热氧化时,产品放入立式氧化炉中,在氧化炉内高温和高压的条件下,利用水作氧化剂,进行湿热氧化;

S9,外观检测:观察产品表面颜色变化情况,并与S1工序产品的图片进行颜色对比,从而判断出喷射管表面的氧化层厚度。

2.根据权利要求1所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S4中,超声波清洗的温度控制在50-80℃,清洗时间为10-20分钟。

3.根据权利要求1所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S7中,在SC2中配置洗净溶液,各组分的体积配比为H2O:HCl:H2O2= 5:1:1,盐酸的质量浓度为49%,双氧水的质量浓度为70%,配置溶液结束,洗净溶液温度控制在50℃附近,然后将产品装入SC2槽,浸泡30分钟以上,向SC2槽内氮气鼓泡。

4.根据权利要求1所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S7中,在SC2槽中洗净结束后,快速把产品放入DIW槽中,进行浸泡,浸泡30分钟以上,浸泡结束后,纯水冲淋,再吹干。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S2、S3、S4、S7采用氮气吹干产品。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S5完成后将产品置于超声波洗净机内进行浸泡洗净,温度控制在50℃附近,时间大于5分钟,然后吹干。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的一种喷射管的清洗方法,其特征是,S2中,超声波清洗的频率为40kHz,超声介质为电阻率大于15M的纯水,并且控制温度在50-70℃之间,时间控制在20±2分钟。

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