[发明专利]确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置在审
| 申请号： | 202111528599.2 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114649237A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 金贤俊 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 张凯 |
| 地址： | 韩国忠清南道天安*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置。公开了一种包括用于传送基板的传送腔室的基板处理装置。传送腔室可以包括手部，基板放置在该手部上；臂部，该臂部连接至手部；第一构件，该第一构件支承手部和臂部、且移动以传送基板；第二构件，该第二构件支承第一构件；传感器检测构件，该传感器检测构件附接到第一构件；传感器构件，该传感器构件附接到第二构件；和确定单元，该确定单元通过传感器检测构件与传感器构件之间的距离来确定在传送腔室中传送是否正常。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 传送 机械手 是否 正常 系统 方法 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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