[发明专利]确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置

权利要求书

1.一种用于确定配置为传送基板的传送机械手是否正常的系统，所述系统包括：

传感器检测构件，所述传感器检测构件附接到移动构件以传送所述基板；

传感器构件，所述传感器构件附接到支承构件，所述支承构件配置为支承所述移动构件以传送所述基板；和

确定单元，所述确定单元配置为通过所述传感器检测构件与所述传感器构件之间的距离来确定所述传送机械手是否正常。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，用于传送所述基板的所述移动构件通过电机驱动，并且

其中，所述确定单元使用所述电机的Z相位确定所述传送机械手是否正常。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述确定单元将在所述传感器构件中检测到所述传感器检测构件的位置设定为第一位置，并将所述移动部件通过所述电机的Z相位从所述第一位置移动的位置设定为第二位置。

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述确定单元基于所述第二位置与所述第一位置之间的差值确定所述传送机械手是否正常。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述确定单元执行控制以使用所述第二位置与所述第一位置之间的所述差值作为参考值，周期性地测量所述第二位置与所述第一位置之间的所述差值，并在所述参考值与测量差值之间的差超过特定范围时产生警报。

6.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括用于传送基板的传送腔室，其中所述传送腔室包括：

手部，所述基板放置在所述手部上；

臂部，所述臂部连接至所述手部；

第一构件，所述第一构件配置为支承所述手部和所述臂部、且配置为移动以传送所述基板；

第二构件，所述第二构件配置为支承所述第一构件；

传感器检测构件，所述传感器检测构件附接到所述第一构件；

传感器构件，所述传感器构件附接到所述第二构件；和

确定单元，所述确定单元配置为通过所述传感器检测构件与所述传感器构件之间的距离来确定在所述传送腔室中传送是否正常。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述第一构件通过电机驱动，并且

所述确定单元使用所述电机的Z相位确定所述传送腔室是否正常。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，所述确定单元将在所述传感器构件中检测到所述传感器检测构件的位置设定为第一位置，并将移动部件通过所述电机的Z相位从所述第一位置移动的位置设定为第二位置。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述确定单元基于所述第二位置与所述第一位置之间的差值确定所述传送腔室是否正常。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述确定单元执行控制以使用所述第二位置与所述第一位置之间的所述差值作为参考值，周期性地测量所述第二位置与所述第一位置之间的所述差值，并在所述参考值与测量差值之间的差超过特定范围时产生警报。

11.一种用于确定配置为传送基板的传送机械手是否正常的方法，所述方法包括：

测量用于确定所述传送机械手是否正常的参考值；

将所述传送机械手定位到所述传送机械手的参考位置；

以对应于驱动所述传送机械手的电机的Z相位的量移动所述传送机械手；和

将所述参考值、与所述参考位置与所述传送机械手移动的位置之间的差值进行比较。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，将所述传送机械手定位到所述传送机械手的所述参考位置包括：将所述传送机械手定位于在传感器检测构件中检测到传感器构件的位置中，所述传感器构件附接到用于支承第一构件的第二构件，所述传感器检测构件附接到用于驱动所述传送机械手的所述第一构件。