[发明专利]一种高键合强度的覆铜陶瓷基板及其制备工艺有效
申请号: | 202111513991.X | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114423173B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 俞晓东;杨恺;刘晓辉 | 申请(专利权)人: | 南通威斯派尔半导体技术有限公司 |
主分类号: | H05K3/28 | 分类号: | H05K3/28;H05K3/00 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 李猛 |
地址: | 226300 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高键合强度的覆铜陶瓷基板及其制备工艺,包括以下制备工艺:(1)磨板:依次利用陶瓷刷、织布刷对覆铜陶瓷基板进行打磨;(2)微蚀:取微蚀液打磨后的覆铜陶瓷基板进行处理。本发明通过修改磨刷轮目数,减少刷痕深度、降低机械影响来缩短微蚀时间,协同微蚀液的调整来避免硫酸铜产生,提高微蚀液的活性,在铜基表面形成一层深度适中、均匀致密的粗糙面,微蚀液的调整能够促进晶粒的较快出现,使其更为凸显,晶粒更粗、更均匀;而铜基表面更为均匀的粗晶能够增加键合引线的拉力,从而提高覆铜陶瓷基板与阻焊层间的高键合强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 高键合 强度 陶瓷 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】:
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