[发明专利]一种高键合强度的覆铜陶瓷基板及其制备工艺有效
申请号: | 202111513991.X | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114423173B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 俞晓东;杨恺;刘晓辉 | 申请(专利权)人: | 南通威斯派尔半导体技术有限公司 |
主分类号: | H05K3/28 | 分类号: | H05K3/28;H05K3/00 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 李猛 |
地址: | 226300 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高键合 强度 陶瓷 及其 制备 工艺 | ||
1.一种高键合强度的覆铜陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:包括以下制备工艺:
(1)磨板:依次利用陶瓷刷、织布刷对覆铜陶瓷基板进行打磨;
(2)微蚀:取微蚀液打磨后的覆铜陶瓷基板进行处理;
所述(2)中微蚀液包括以下重量组分:65~190g/L过二硫酸、20~50g/L硫酸、5~30g/L苯并三氮唑,2~5g/L苯并三氮唑衍生物、2~20g/L硫酸锌、2~5g/L超支化聚氨基酸、80~100mg/L巯丙基三甲氧基硅烷;
所述苯并三氮唑衍生物由以下工艺制得:
取苯并三氮唑、氢氧化钠、二甲基亚砜混合,60~65℃温度下反应60~90min,冷却至室温,加入3-氯丙基三甲氧基硅烷,25~30℃反应14~15h;加入去离子水冷却结晶,过滤,洗涤,干燥,得到苯并三氮唑衍生物;
所述超支化聚氨基酸由以下工艺制得:
取L-胱氨酸,加入氢氧化钠的水溶液,搅拌至溶解,调节体系温度至0~1℃,缓慢加入丙烯酰氯的二氯甲烷溶液、氢氧化钠的水溶液,30min加完,搅拌,反应100~140min,得到产物A;
取四氢呋喃溶解三聚氯氰,缓慢加入氨基苯并咪唑,保持体系温度在18~22℃,加入N,N-二异丙基乙胺,室温搅拌60~70min;加热至64~68℃,反应20~24h;旋蒸,二氯甲烷溶解,洗涤,干燥;取产物溶于甲醇,加入盐酸,搅拌12h;旋蒸,加入乙醇沉淀,洗涤,干燥,得到产物B;
取去离子水,加入产物A、产物B,搅拌溶解,加入10%氢氧化钠水溶液,调节体系pH至8~9,在氮气氛围中,升温至40~45℃反应40~48h,透析,干燥,得到超支化聚氨基酸。
2.根据权利要求1所述的一种高键合强度的覆铜陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:所述(1)中陶瓷刷的目数为400目~600目,陶瓷片厚度为8mm,速度选择为2.5m/min,刷磨电流为2.7A。
3.根据权利要求1所述的一种高键合强度的覆铜陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:所述(1)中织布刷为400目~600目,速度为2.5m/min,刷磨电流为2.9A。
4.根据权利要求1所述的一种高键合强度的覆铜陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:所述(2)中的微蚀温度为30~40℃,传输速率为3.5~4.0m/min。
5.根据权利要求1所述的一种高键合强度的覆铜陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:所述微蚀液包括以下制备工艺:
S1:取超支化聚氨基酸、巯丙基三甲氧基硅烷,加入乙醇水溶液,利用冰醋酸调节体系pH为3~5;
S2:调节体系温度至20~25℃,加入硫酸溶液、硫酸锌、苯并三氮唑,保持温度,搅拌3~5min;
S3:加入过二硫酸、苯并三氮唑衍生物,搅拌混合,得到微蚀液。
6.根据权利要求1-5任一项所述的制备工艺制得的一种高键合强度的覆铜陶瓷基板。
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