[发明专利]硅基靶板及其生产工艺有效
| 申请号： | 202111510102.4 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114113289B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡福仙;李细花 | 申请（专利权）人： | 中元汇吉生物技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/626 | 分类号： | G01N27/626 |
| 代理公司： | 重庆航图知识产权代理事务所(普通合伙) 50247 | 代理人： | 胡小龙 |
| 地址： | 401325 重庆市大渡口区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基靶板的生产工艺，包括如下步骤：步骤一：在硅片抛光面涂抹膜层溶胶后进行干燥、固化和煅烧热处理，在硅片抛光面上形成膜层；步骤二：在硅片抛光面镀疏水层；步骤三：利用激光雕刻在硅片抛光面上雕刻样品点，使硅片露出样片点的底面。本发明还公开了一种硅基靶板，采用如上所述硅基靶板的生产工艺制作得到。通过在硅片抛光面涂抹膜层溶胶，而后进行干燥、固化和煅烧热处理处理，在硅片表面形成具有蜂窝状结构的膜层，而后在硅片表面镀疏水层，即疏水层与膜层结合，使疏水层具有纳米级的平整度，使得电场更均一，测试出来质荷比(M/Z)准确度更高；最后利用激光雕刻在硅片抛光面形成样品点，并使硅片露出样品点底部，从而制备得到硅基靶板。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基靶板 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
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