[发明专利]一种介质阻挡放电等离子体发生器在审

专利信息
申请号: 202111509907.7 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN114126181A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 倪国华;李天成;隋书宝;孙斌 申请(专利权)人: 青岛华云空气科技有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 北京共腾律师事务所 16031 代理人: 姚星
地址: 266000 山东省青岛市高新区松*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种介质阻挡放电等离子体发生器,属于等离子发生器技术领域,绝缘管内形成的金属涂层是通过引入大气压E模式放电,在绝缘管内壁直接制备的金属涂层作为介质阻挡放电等离子体发生器的电极组件,通过调节制备的时间以及金属丝和线圈的移动速度,可以实现高精度的金属涂层膜层厚度,由于绝缘管的内部采用的是原位制备的金属涂层,相比较其他技术而言,涂层与绝缘管内壁结合的更紧密、更均匀,从而解决了金属涂层与绝缘管内壁间存在间隙,或与绝缘管内壁结合力差、易脱落的问题;由于金属涂层与绝缘管之间贴合的更紧密和可靠,本发明提供的介质阻挡放电等离子体发生器在输入相同能量的条件下,产生的等离子体密度、活性粒子浓度更高。
搜索关键词: 一种 介质 阻挡 放电 等离子体 发生器
【主权项】:
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