[发明专利]一种介质阻挡放电等离子体发生器

权利要求书

1.一种介质阻挡放电等离子体发生器，其特征在于，所述介质阻挡放电等离子体发生器包括相对设置的上支架和下支架、位于所述上支架和所述下支架之间的第一电极组件和第二电极组件、与所述第一电极组件连接的上端子、与所述第二电极组件连接的下端子，其中，所述上端子贯穿所述上支架，所述下端子贯穿所述下支架，所述第一电极组件和所述第二电极组件均包括绝缘管和形成在所述绝缘管内壁上的金属涂层，其中，所述金属涂层采用如下制备方法附着在所述绝缘管的内壁上：

步骤一：将采用去离子水清洗和干燥之后的绝缘管放置在等离子体处理设备中，并针对绝缘管的表面进行清洗；

步骤二：将直径为0.3mm~1mm的金属丝沿着绝缘管的中轴线深入绝缘管的内部，其中，金属丝的下端放置在绝缘管内壁需要制备涂层的起始处，金属丝的上端位于绝缘管的外部并且金属丝的上端连接射频电源的接地线；

步骤三：在绝缘管的外侧包覆设置感应线圈，感应线圈的上端与金属丝的下端齐平，感应线圈的上端和下端分别接射频电源的地端和输出端；

步骤四：向绝缘管内通入氩气和氢气的混合气体，接通射频电源后，金属丝下端的端点处呈现E模式放电，金属丝溅射出金属并附着在绝缘管内壁上，形成致密且结合牢固的金属涂层；

步骤五：在金属丝溅射过程中同步匀速向上移动金属丝和感应线圈，控制在绝缘管内壁形成的金属涂层的均匀性和厚度，直至完成后，关断射频电源和气源。

2.根据权利要求要求1所述的介质阻挡放电等离子体发生器，其特征在于，所述绝缘管的一端封闭，另一端设置有金属端子，其中，所述上端子和所述下端子均为金属端子，所述金属端子与所述金属涂层电连接。

3.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体发生器，其特征在于，所述第一电极组件和所述第二电极组件之间的间隙是0.1mm~5mm。

4.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体发生器，其特征在于，氩气和氢气的混合气体中氢气含量为0.8‰-3.2‰，混合气体的气体流量为2500 sccm~7500sccm。

5.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体发生器，其特征在于，所述金属涂层的厚度为1μm~200μm，所述绝缘管的材质为石英或陶瓷。