[发明专利]一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法有效
| 申请号： | 202111500933.3 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114163135B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 孙伟民;严云翔;刘世杰;陈旭东;耿涛;闫奇;王佳斌;金夕人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英微孔板低压腐蚀方法，属于加工工艺领域。当石英微孔板中微孔尺寸小于需求尺寸时，给出一种腐蚀扩孔方法。本方法通过腐蚀溶液来腐蚀石英板材来达到扩大微孔孔径的目的，由于腐蚀溶液中存在气泡会导致腐蚀进行的不均匀，本发明提出一种低压腐蚀方法，可以将溶液中气泡数量降低，使石英微孔板腐蚀的速率更均衡。制造低压的装置由真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、几个气阀以及连接导管组成，通过特定的操作步骤可以将腐蚀杯抽成接近真空，使气泡析出，有利于溶液对微孔板的均匀腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 微孔 低压 腐蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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