[发明专利]一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法

权利要求书

1.一种石英微孔板低压腐蚀装置，其特征在于，包括真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、气阀以及连接导管；所述第一溶液杯通过三根导管及相应气阀分别与第二溶液杯、真空气泵、腐蚀杯相连，且与第二溶液杯和真空气泵连接的导管在第一溶液杯中插入浅，与腐蚀杯相连的导管插入深；所述第二溶液杯通过三根导管及相应气阀分别与第一溶液杯、真空气泵、腐蚀杯相连，且与腐蚀杯和真空气泵连接的导管在第二溶液杯中插入浅，与第一溶液杯相连的导管插入深；所述腐蚀杯通过两根导管及相应气阀分别与第一溶液杯、第二溶液杯相连，且与第一溶液杯连接的导管在腐蚀杯中插入浅，与第二溶液杯相连的导管插入深，腐蚀杯用来放置所要腐蚀的微孔板；开始腐蚀溶液放在第一溶液杯中，打开真空气泵对第二溶液杯和腐蚀杯抽气，利用气压差使第一溶液杯中的溶液流入腐蚀杯和第二溶液杯，再对第一溶液杯抽气，使第二溶液杯中的溶液回到第一溶液杯，然后进行多次循环操作，可以进一步降低腐蚀杯中的气压，所述腐蚀溶液和微孔板发生反应，从而扩大微孔孔径。

2.根据权利要求1所述的一种石英微孔板低压腐蚀装置，其特征在于，所述腐蚀杯、第一溶液杯子和第二溶液杯上设置有密封杯盖。

3.一种石英微孔板低压腐蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：

配制腐蚀溶液；

连接如权利要求1或2所述的低压腐蚀装置；

制造近真空的低压环境以析出腐蚀溶液中的微气泡；

将腐蚀溶液连同微孔板放入合适温度环境中开始腐蚀。