[发明专利]一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法

说明书

本发明公开了一种石英微孔板低压腐蚀方法，属于加工工艺领域。当石英微孔板中微孔尺寸小于需求尺寸时，给出一种腐蚀扩孔方法。本方法通过腐蚀溶液来腐蚀石英板材来达到扩大微孔孔径的目的，由于腐蚀溶液中存在气泡会导致腐蚀进行的不均匀，本发明提出一种低压腐蚀方法，可以将溶液中气泡数量降低，使石英微孔板腐蚀的速率更均衡。制造低压的装置由真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、几个气阀以及连接导管组成，通过特定的操作步骤可以将腐蚀杯抽成接近真空，使气泡析出，有利于溶液对微孔板的均匀腐蚀。

技术领域

本发明涉及加工工艺领域，具体而言，涉及一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法。

背景技术

在一些特殊应用领域，需要用到带有大量微孔的石英微孔板。在实际石英微孔板加工时，可能会由于制作误差过大或设计不合理等因素，出现实际板材上的微孔直径比需要的略小的情况。这种情况下重新加工会耗费很大的成本和时间。而对于大量石英微孔的扩孔可以采用溶液腐蚀的方法进行。而在微孔板的腐蚀过程中，腐蚀溶液由于加热、搅动等原因析出微气泡，容易附着在微孔上，使该处的石英不会接触到腐蚀溶液，会造成各个微孔的腐蚀速率不同，且单个微孔也会不均匀。

发明内容

本发明的目的：为了将石英微孔板上的微孔扩大，使微孔板满足实际需求，提出了一种微孔板扩孔方法，并设计了一套装置。此方法利用低压环境抽出溶液中的气泡，避免因气泡阻塞微孔导致腐蚀不均。该方法能够均匀可控的扩大微孔的尺寸，节省了二次加工的成本。

一种石英微孔板低压腐蚀装置，包括真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、气阀以及连接导管；所述第一溶液杯通过三根导管及相应气阀分别与第二溶液杯、真空气泵、腐蚀杯相连，且与第二溶液杯和真空气泵连接的导管在第一溶液杯中插入浅，与腐蚀杯相连的导管插入深；所述第二溶液杯通过三根导管及相应气阀分别与第一溶液杯、真空气泵、腐蚀杯相连，且与腐蚀杯和真空气泵连接的导管在第二溶液杯中插入浅，与第一溶液杯相连的导管插入深；所述腐蚀杯通过两根导管及相应气阀分别与第一溶液杯、第二溶液杯相连，且与第一溶液杯连接的导管在腐蚀杯中插入浅，与第二溶液杯相连的导管插入深，腐蚀杯用来放置所要腐蚀的微孔板；开始腐蚀溶液放在第一溶液杯中，打开真空气泵对第二溶液杯和腐蚀杯抽气，利用气压差使第一溶液杯中的溶液流入腐蚀杯和第二溶液杯，再对第一溶液杯抽气，使第二溶液杯中的溶液回到第一溶液杯，然后进行多次循环操作，可以进一步降低腐蚀杯中的气压，所述腐蚀溶液和微孔板发生反应，从而扩大微孔孔径。

进一步的，所述腐蚀杯、第一溶液杯子和第二溶液杯上设置有密封杯盖。

一种石英微孔板低压腐蚀方法，包括如下步骤：

配制腐蚀溶液；

连接如权利要求1或2所述的低压腐蚀装置；

制造近真空的低压环境以析出腐蚀溶液中的微气泡；

将腐蚀溶液连同微孔板放入合适温度环境中开始腐蚀。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

在所加工的石英微孔板中微孔尺寸小于所需尺寸的情况下，可以无需重新加工，使用本方法来腐蚀扩孔来满足要求，减少了不必要的生产成本和时间成本。

本方法相对于其他扩孔方法，操作简单，所需成本低，可以通过控制腐蚀的时间来获得任意大小的微孔，扩孔的尺寸可控。

本方法根据溶液中的气泡会影响腐蚀的均一性的原理，通过装置来降低溶液中气泡数量，该点对于在液体环境中容易被气体堵塞的微孔尤为重要，抽出微孔中堵塞的气泡可使腐蚀溶液与微孔充分接触，使腐蚀的速率更均匀，腐蚀效果更显著。

附图说明

图1为本发明提供的一种用于微孔板腐蚀溶液制备的结构示意图；