[发明专利]一种锂离子电池集电极膜的加工方法在审
| 申请号： | 202111495482.9 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114196929A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 郑佳毅 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;H01M4/64 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 黄莹;顾吉云 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锂离子电池集电极膜的加工方法膜，其可以避免使用有环境污染的电镀技术，同时确保了产品的质量。其包括步骤：S1：将聚合物膜作为基材放置于基材运输装置上；S2：在真空环境下，基材运输装置承载着基材进入镜像磁控溅射镀膜区域，进行铜底膜的镀膜工序；在镜像磁控溅射镀膜区域基于旋转镜像靶磁控溅射技术完成铜底膜的镀膜工序；S3：铜底膜的镀膜工序结束后，基材运输装置将基材继续运输到同样真空环境下的第一高速气流溅射镀膜区域完成加厚层的镀膜工序；在第一高速气流溅射镀膜区域中，基于气流溅镀沉积技术完成加厚层的镀膜工序。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锂离子电池 集电极 加工 方法 | ||
【主权项】：
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