[发明专利]一种锂离子电池集电极膜的加工方法

权利要求书

1.一种锂离子电池集电极膜的加工方法，其包括以下步骤：

S1：将聚合物膜作为基材放置于基材运输装置上；

其特征在于，其还包括以下步骤：

S2：在真空环境下，所述基材运输装置承载着基材进入镜像磁控溅射镀膜区域，进行铜底膜的镀膜工序；

在所述镜像磁控溅射镀膜区域基于旋转镜像靶磁控溅射技术完成铜底膜的镀膜工序；

S3：所述铜底膜的镀膜工序结束后，所述基材运输装置将基材继续运输到同样真空环境下的第一高速气流溅射镀膜区域完成加厚层的镀膜工序；

在所述第一高速气流溅射镀膜区域中，基于气流溅镀沉积技术完成所述加厚层的镀膜工序。

2.根据权利要求1所述一种饱水设备，其特征在于：其还包括步骤S4：

S4：完成所述加厚层的镀膜工序后，所述基材运输装置继续将基材继续运输到同样真空环境下的第二高速气流溅射镀膜区域，基于气流溅镀沉积技术完成保护膜的镀膜工序。

3.根据权利要求1所述一种饱水设备，其特征在于：步骤S3中的所述加厚层为铜膜或铜镍合金镀膜。

4.根据权利要求2所述一种饱水设备，其特征在于：步骤S4中的所述保护膜为铜镍合金镀膜。

5.根据权利要求2所述一种饱水设备，其特征在于：所述铜底膜厚度范围为：30~100纳米，所述加厚层厚度范围为：800~900纳米，所述保护膜的厚度范围为：300~500纳米。