[发明专利]一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置及方法在审
| 申请号： | 202111486926.2 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114397479A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 马东;刘文明;马晓;张红波;曲天良;宣扬;余文毅;张子康 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01P21/02 | 分类号： | G01P21/02;G01C25/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 加速度计 to 部件 自由度 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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