[发明专利]一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置及方法

权利要求书

1.一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，其特征在于，包括：

真空腔，提供真空环境，并在所述真空腔内容置待测试的TO部件，所述TO部件通过TO部件固定工装安装在所述真空腔内；

电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与所述真空腔连接；

多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且所述多齿分度台之工作面处设置用于安装所述电动转台的电动转台安装支架；

水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对所述TO部件固定工装之TO部件安装板进行水平度调整。

2.如权利要求1所述的石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，其特征在于，所述TO部件进一步包括谐振梁芯片以及与所述谐振梁芯片相贴合设置的TO底座。

3.如权利要求1所述的石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，其特征在于，所述TO部件固定工装，进一步包括：

TO部件安装板，用于对所述TO部件进行限位，并固定设置在所述真空腔转接板上；

TO部件压板，通过设置在所述TO部件安装板上的定位销进行定位，并固定所述TO部件；

锁紧螺栓，用于连接所述TO部件压板和所述TO部件安装板，以锁紧所述TO部件腔。

4.一种如权利要求1所述的石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置的测试方法，其特征在于，所述石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试方法，包括：

执行步骤S1：在所述TO部件安装板上设置水平仪，并通过所述水平调节机构对所述TO部件安装板进行水平度调节；

执行步骤S2：将所述TO部件按指定方向安装在所述TO部件安装板上，并通过所述TO部件压板和所述锁紧螺栓进行固定；

执行步骤S3：对所述真空腔进行抽真空作业；

执行步骤S4：所述TO部件之谐振梁芯片上电工作，稳定后旋转所述多齿分度台，使得所述谐振梁芯片的Z轴在+1g和-1g之间进行两点翻滚试验，测试获得Z轴标度因素k_z；

执行步骤S5：旋转所述多齿分度台，使得所述真空腔呈竖直放置，进而调节所述电动转台，使得所述谐振梁芯片的Y轴与垂向对准，旋转所述多齿分度台，使得所述谐振梁芯片的Y轴在+1g和-1g之间进行两点翻滚试验，测试获得Y轴标度因素k_y；

执行步骤S6：调节所述电动转台，使得所述谐振梁芯片旋转90°后X轴与垂向对准，旋转所述多齿分度台，使得所述谐振梁芯片的X轴在+1g和-1g之间进行两点翻滚试验，测试获得X轴标度因素k_x；

执行步骤S7：根据k_x、k_y、k_z的匹配度要求进行TO部件的选配。

5.如权利要求4所述的石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试方法，其特征在于，所述水平度优于0.1°。

6.如权利要求4所述的石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试方法，其特征在于，所述真空度优于1×10^-2Pa。