[发明专利]一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置及方法

说明书

一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。

技术领域

本发明涉及微机电系统(MEMS)惯性传感器测试技术领域，尤其涉及一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置及方法。

背景技术

如大家所知晓地，一体式石英振梁加速度计通常采用两块差分工作的谐振梁芯片进行测量，以减小温度波动、交叉耦合等共模干扰因素的影响，差分的效果取决于两块谐振梁芯片的一致性，更确切地讲是谐振梁芯片与TO(Transistor Outline package)底座粘贴后形成的TO部件的一致性。为了挑选出满足XYZ三轴标度因数匹配度要求的TO部件，需要一种能够提供真空环境的多自由度精密测试装置。

但是，在现有技术中，加速度计的标度因数通常采用多齿分度台进行四点翻滚测试，而多齿分度台仅有一个自由度，不能一次性完成XYZ三个轴的标度因数测量。另外，TO部件的谐振梁芯片需要在真空下工作，需要配置一个真空腔。

寻求一种使得所述TO部件经过一次安装便能在真空环境下完成XYZ三轴标度因数测量的两自由度真空测试装置及方法已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置及方法。

发明内容

本发明之第一目的是针对现有技术中，传统加速度计的标度因数通常采用多齿分度台进行四点翻滚测试，而多齿分度台仅有一个自由度，不能一次性完成XYZ三个轴的标度因数测量，且无真空测试环境等缺陷提供一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置。

本发明之又一目的是针对现有技术中，传统加速度计的标度因数通常采用多齿分度台进行四点翻滚测试，而多齿分度台仅有一个自由度，不能一次性完成XYZ三个轴的标度因数测量，且无真空测试环境等缺陷提供一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试方法。

为实现本发明之第一目的，本发明提供一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，所述石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：

真空腔，提供真空环境，并在所述真空腔内容置待测试的TO部件，所述TO部件通过TO部件固定工装安装在所述真空腔内；

电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与所述真空腔连接；

多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且所述多齿分度台之工作面处设置用于安装所述电动转台的电动转台安装支架；

水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对所述TO部件固定工装之TO部件安装板进行水平度调整。

可选地，所述TO部件进一步包括谐振梁芯片以及与所述谐振梁芯片相贴合设置的TO底座。

可选地，所述TO部件固定工装，进一步包括：

TO部件安装板，用于对所述TO部件进行限位，并固定设置在所述真空腔转接板上；

TO部件压板，通过设置在所述TO部件安装板上的定位销进行定位，并固定所述TO部件；