[发明专利]一种IGZO阵列基板及其配线结构

摘要

本发明公开了一种IGZO阵列基板及其配线结构，包括玻璃基板，所述玻璃基板的上表面固定连接栅极绝缘层，所述栅极绝缘层与玻璃基板的之间的位置设置金属栅极，所述金属栅极固定安装在玻璃基板的上表面，所述栅极绝缘层的上表面固定连接半导体有源层，所述半导体有源层上表面左右两侧的位置分别固定连接金属源漏极。本发明优化绝缘层开孔工艺，解决绝缘层界面处undercut及金属层过刻风险，减小TFT‑LCD配线区寄生电容并优化框胶固化工艺，通过栅极绝缘层底部垫层搭配化学性蚀刻+物理性蚀刻开洞的方式，解决绝缘层界面处undercut及金属层过刻风险，通过配线区采用dule trace及double trace搭配的方式，实现减小寄生电容及优化框胶固化的目的。