[发明专利]用于芯片检测的老化测试装置在审
申请号: | 202111483457.9 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN114295956A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 张成;姚燕杰;王丽;位贤龙 | 申请(专利权)人: | 江苏凯尔生物识别科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 袁紫薇 |
地址: | 215131 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种用于芯片检测的老化测试装置,包括:柜体和若干个活动安装于柜体内的抽屉,所述柜体内并位于腔体下方设置若干层沿竖直方向间隔排布的风道,所述风道贯通的前、后两端各自与柜体的前、后内壁连接,所述风道封闭的左、右两端各自与柜体的左、右内壁间隔设置,上下相邻的两层风道之间、位于最上层的风道与腔体之间均通过多根竖直设置的风管连通,位于抽屉上方的顶板或风道的下表面上开设有与对应的腔体或风道连通的若干个风孔。本发明既可以使柜体内各个位置的待测试芯片受热均衡,保证测试数据的一致性和可比较性,还可以提高每颗芯片受热的均匀性,进一步提高对芯片的测试精度。 | ||
搜索关键词: | 用于 芯片 检测 老化 测试 装置 | ||
【主权项】:
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