[发明专利]一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111469852.1 申请日: 2021-12-04
公开(公告)号: CN114083865A 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 王国明;于涛;叶世强;周慧芝 申请(专利权)人: 富维薄膜(山东)有限公司
主分类号: B32B27/36 分类号: B32B27/36;B32B27/08;B32B27/18;B32B33/00;C08L67/02;C08K3/36;C08J5/18;C09D175/04;C09D7/62;B29C48/08;B29C48/21;B29C48/49;B29C55/14
代理公司: 山东华君知识产权代理有限公司 37300 代理人: 吕翠莲
地址: 261061 山东省潍坊*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法,该薄膜总厚度14~16微米,中间三层为A/B/C结构的聚酯基膜,A/B/C三层厚度比为4~7:36~42:4~7,A和C层的表面再各自涂布一层厚3~5微米的涂层;所述A/B/C结构的聚酯基膜,B所用材料为纯PET树脂,A和C层所用材料为含二氧化硅的间苯二甲酸改性PET树脂;所述涂层,由环氧改性水性聚氨酯树脂涂布液经在线涂布工艺得到,其粘接力好、透光率高、抗静电性能优异;本发明采用普通PET树脂和间苯二甲酸改性PET树脂等低成本原料制备出A/B/C结构的聚酯基膜,并涂覆复合上功能性好的涂层,在降低成本的同时得到了性能良好的光学用聚酯薄膜。
搜索关键词: 一种 五层干膜抗蚀剂用 聚酯 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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