[发明专利]一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于：所述五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，总厚度14~16微米，中间三层为A/B/C三层层状结构组成的聚酯基膜，A/B/C三层厚度比为4~7:36~42:4~7，在A/B/C结构组成中A层和C层的表面再各自涂布一层厚度为3~5微米的功能性涂层；所述A/B/C三层层状结构组成的聚酯基膜，B所用材料为纯PET树脂，A层和C层所用材料为添加二氧化硅的间苯二甲酸改性PET树脂；所述功能性涂层，为水性聚氨酯涂布液经在线涂布工艺得到。

2.一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：包括水性聚氨酯涂布液的制备，间苯二甲酸改性PET树脂母粒的制备和五层聚酯薄膜的制备。

3.根据权利要求2所述的一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：所述水性聚氨酯涂布液的制备，涂布液具体配方为：

20~30wt%水性聚氨酯树脂

5~9wt%水性封闭性异氰酸酯交联剂

2~4wt%水性润湿剂

0.3~0.7wt%消泡剂

10~13wt%改性纳米二氧化硅爽滑剂

1.0~1.5wt%抗静电剂

其余用去离子水补足；

涂布液制备工艺为：将水性润湿剂加入水性聚氨酯树脂中，1500~2500转/分下搅拌15~20分钟后，持续搅拌状态下，依次加入水性封闭性异氰酸酯交联剂，消泡剂，爽滑剂，抗静电剂，去离子水后，2000~3500转/分下搅拌10~20分钟后得到水性聚氨酯涂布液。

4.根据权利要求3所述的一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：所述改性纳米二氧化硅爽滑剂，制备方法为：10~15wt%盐酸溶液中加入其质量50~60%的硅酸钾，再加入硅酸钾质量3~6%硅烷偶联剂KH560，常温1000~1300转/分下搅拌反应2~3小时，再加入硅酸钾质量75~90%的氯化钾和硅酸钾质量40~55%的无水乙醇，900~1200转/分速率下搅拌混合0.5~1小时，得到的白色乳浊液体于10000~30000转/分条件下高速离心后得到的澄清透明溶液为改性纳米二氧化硅爽滑剂。

5.根据权利要求3所述的一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：所述水性聚氨酯树脂为环氧改性水性聚氨酯树脂，环氧成分质量含量为9%；所述水性封闭性异氰酸酯交联剂为朗盛Trixene® BI201、Trixene® DP9C/213、Trixene® BI200中的一种；所述水性润湿剂为毕克BYK®-346、BYK®-307和BYK®-333按质量比5:1:1的混合物；所述消泡剂为巴斯夫FoamStar®ST 2410、Dehydran 1293、FoamStar®A10三种的一种；所述抗静电剂为十四烷基二甲基苄基氯化铵、辛基三甲基氯化铵或十六烷基二甲基苄基氯化铵中的一种。

6.根据权利要求2所述的一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：所述五层聚酯薄膜的制备，包括切片预结晶、干燥，熔融、共挤及模头铸片，纵向拉伸，涂布与横向拉伸，牵引切边和收卷，分切和成品入库等步骤。

7.根据权利要求6所述的一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备方法，其特征在于：所述切片预结晶、干燥，对间苯二甲酸改性PET树脂母粒，间苯二甲酸改性PET树脂，纯PET树脂进行预结晶、干燥，预结晶结晶温度135~165℃，预结晶停留时间13~25min，干燥温度160~175℃，干燥停留时间2~4小时。