[发明专利]匀胶机防渗漏吸盘在审
| 申请号： | 202111468717.5 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114211671A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 宋群梁;徐寸云;胡薇 | 申请（专利权）人： | 西南大学 |
| 主分类号： | B29C41/24 | 分类号： | B29C41/24;B29C41/38;B29C41/42;B29C41/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400715*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种匀胶机防渗漏吸盘，该吸盘用于旋涂基片的固定，具体结构包括：承载基片的环形阵列通孔陶瓷片，O型密封圈，从动支撑盘，联动固定台；所述环形阵列通孔陶瓷片设有呈中心对称的通孔，其边沿设有向下的卡槽，用于固定O型密封圈；从动支撑盘中心设有负压抽气孔，底部通过O型密封圈与联动固定台形成密封腔，联动固定台顶部设有离心渗漏陷液结构。本发明实施例的匀胶机防渗漏吸盘，通过环形阵列通孔陶瓷片、O型密封圈，从动支撑盘由上到下堆叠形成基片固定台；通过从动支撑盘和联动固定台之间的O型橡胶密封形成真空腔，实现基片的负压吸附；防渗漏结构设置在联动固定台顶部，可以有效防止液滴渗漏进入旋转轴气道。 | ||
| 搜索关键词： | 匀胶机防 渗漏 吸盘 | ||
【主权项】：
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