[发明专利]匀胶机防渗漏吸盘

权利要求书

1.在一种匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于，所述匀胶机防渗漏吸盘用于防止胶液因负压而渗入旋转轴，其结构包括：承载基片的环形阵列通孔陶瓷片(1)，O型密封圈A (2)，从动支撑盘(3)，联动固定台(5)；所述环形阵列通孔陶瓷片(1)设有呈中心对称的通孔，其边沿设有向下的卡槽，用于固定O型密封圈A (2)；从动支撑盘(3)中心设有负压抽气孔，底部通过O型密封圈B (4)与联动固定台(5)形成密封腔，联动固定台(5)顶部设有离心渗漏陷液结构。

2.根据权利要求1所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述匀胶机防渗漏吸盘由从动支撑盘(3)和联动固定台(5)通过O型密封圈B(4)形成多级真空缓冲腔，用于提供旋转传动和负压传递。

3.根据权利要求2所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述冲动支撑盘(3)顶部依次设有O型密封圈A (2)和环形阵列通孔陶瓷片(1)，在放置基片时，可以形成多位点支撑和负压吸附，实现多种材质基片的固定。

4.根据权利要求3所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述联动固定台(5)顶部中心设有呈中心对称的防渗漏离心陷液结构，用于阻挡胶液向旋转轴抽气道渗漏。

5.根据权利要求4所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述联动固定台(5)底部设有旋转轴销钉卡槽，用于锁定联动固定台。

6.根据权利要求5所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述O型密封圈A(2)、O型密封圈B(4)，均采用密封行业标准品。

7.根据权利要求6所述的匀胶机防渗漏吸盘，其特征在于：所述匀胶机防渗漏吸盘有上中下三级结构通过密封圈堆叠设置而成。

8.可根据实际旋涂仪和基片尺寸个性和设置环形阵列通孔陶瓷片(1)、从动支撑盘(3)和联动固定台(5)。