[发明专利]匀胶机防渗漏吸盘

说明书

本发明提出了一种匀胶机防渗漏吸盘，该吸盘用于旋涂基片的固定，具体结构包括：承载基片的环形阵列通孔陶瓷片，O型密封圈，从动支撑盘，联动固定台；所述环形阵列通孔陶瓷片设有呈中心对称的通孔，其边沿设有向下的卡槽，用于固定O型密封圈；从动支撑盘中心设有负压抽气孔，底部通过O型密封圈与联动固定台形成密封腔，联动固定台顶部设有离心渗漏陷液结构。本发明实施例的匀胶机防渗漏吸盘，通过环形阵列通孔陶瓷片、O型密封圈，从动支撑盘由上到下堆叠形成基片固定台；通过从动支撑盘和联动固定台之间的O型橡胶密封形成真空腔，实现基片的负压吸附；防渗漏结构设置在联动固定台顶部，可以有效防止液滴渗漏进入旋转轴气道。

技术领域

本发明涉及薄膜材料与器件技术领域，特别是涉及一种匀胶机防渗漏吸盘。

背景技术

匀胶机是溶液法制备高精度薄膜的重要设备之一。近期，旋涂法制备功能型薄膜材料推动了薄膜器件的研究，尤其是科研院所的小型或微型样品的制备；旋涂法，即通过旋转轴带动基片高速旋转，将溶液或胶体均匀铺展在基片表面，实现快速可控的纳米级薄膜制备；目前，绝大多数匀胶机吸盘均采用直通结构，通过旋转轴转孔和吸盘形成真空，实现对基片的吸附。然而，由于旋涂过程中由于加速度、转速、溶液张力、基片结构及溶剂用量等多种因素的影响，胶液或溶液容易出现明显的渗漏，而浸入旋转轴；有大部分胶液或溶液的腐蚀性，极易对旋转轴承和密封圈产生腐蚀，最终对旋涂的参数产生不可控的影响。

目前，针对此问题的处理方式基本采用跟换转轴、轴承甚至电机的方式，而针对渗漏问题并没有得的解决。

发明内容

本发明提出一种匀胶机防渗漏吸盘，能够有效防止胶液或溶液渗入旋涂仪旋转轴和轴承，防止溶剂的腐蚀。

本发明的技术方案如下：一种匀胶机防渗漏吸盘，包括承载基片的环形阵列通孔陶瓷片，O型密封圈A，从动支撑盘，联动固定台；所述环形阵列通孔陶瓷片设有呈中心对称的通孔，其边沿设有向下的卡槽，用于固定O型密封圈A；从动支撑盘中心设有负压抽气孔，底部通过O型密封圈B与联动固定台形成密封腔，联动固定台顶部设有离心渗漏陷液结构。

作为优选，所述匀胶机防渗漏吸盘由从动支撑盘和联动固定台通过O型密封圈B形成多级真空缓冲腔，用于提供旋转传动和负压传递。

作为优选，所述冲动支撑盘顶部依次设有O型密封圈A 和环形阵列通孔陶瓷片，在放置基片时，可以形成多位点支撑和负压吸附，实现多种材质基片的固定。

作为优选，所述联动固定台顶部中心设有呈中心对称的防渗漏离心陷液结构，用于阻挡胶液向旋转轴抽气道渗漏。

作为优选，所述联动固定台底部设有旋转轴销钉卡槽，用于锁定联动固定台。

作为优选，所述O型密封圈A、O型密封圈B，均采用密封行业标准品。

作为优选，所述匀胶机防渗漏吸盘有上中下三级结构通过密封圈堆叠设置而成。可根据实际匀胶机和基片尺寸个性和设置环形阵列通孔陶瓷片、从动支撑盘和联动固定台。

附图说明

图1为本发明的轴向立体装配图；

图2为本发明的正切面视图

图中1、环形阵列通孔陶瓷片；2、O型密封圈A；3、从动支撑盘；4、O型密封圈B；5联动固定台。下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行完整地描述，显然，所述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行完整地描述，显然，所述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。