[发明专利]一种声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202111466558.5 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114337583A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;姚虎林;张师斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 苗芬芬;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子器件技术领域，本发明提供了一种声表面波谐振器。该声表面波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；从而使得当该谐振器处于工作模式时，可以在压电薄膜区域形成准驻波。且该叉指换能器包括叉指电极区域，叉指电极区域包括叉指电极对，后续可以通过对叉指电极的尺寸进行调节，从而使使每对叉指电极对的菲涅尔区可以包括整个谐振器，实现抑制衍射效应的效果，提高了该器件的品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
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