[发明专利]一种声表面波谐振器

说明书

本发明涉及微电子器件技术领域，本发明提供了一种声表面波谐振器。该声表面波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；从而使得当该谐振器处于工作模式时，可以在压电薄膜区域形成准驻波。且该叉指换能器包括叉指电极区域，叉指电极区域包括叉指电极对，后续可以通过对叉指电极的尺寸进行调节，从而使使每对叉指电极对的菲涅尔区可以包括整个谐振器，实现抑制衍射效应的效果，提高了该器件的品质因数。

技术领域

本发明涉及微电子器件技术领域，特别涉及一种声表面波谐振器。

背景技术

一般，声表面波谐振器能够利用压电薄板中具有较高声速和较大机电耦合系数的板波模式，可制备高频大带宽的声学滤波器，因此受到了广泛关注。但现有技术中的声表面波谐振器的叉指电极结构为通过将一对电极对重复设置形成的，从而激发的声表面波的衍射效应会造成能量损耗，降低了器件的品质因数Q。

发明内容

本发明要解决的是现有技术中声表面波谐振器中声表面波的衍射效应的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请公开了一种声表面波谐振器，其包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；

叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；

叉指换能器包括叉指电极区域；

叉指电极区域包括叉指电极对；

叉指电极对的中心与声波谐振器的中心的距离满足以下公式：

d≧L+△x

其中，d为叉指电极对的菲涅尔区的长度；L为声表面波谐振器的长度的一半；△x为叉指电极对的中心与声表面波谐振器的中心之间的距离。

可选的，叉指电极区域包括第一区域和第二区域；

第一区域位于叉指换能器的中部；第一区域包括多个第一叉指电极，多个第一叉指电极中的每个第一叉指电极的尺寸相同，且每个第一叉指电极的占空比相同；

第二区域包括多个第二叉指电极，多个第二叉指电极中的每个第二叉指电极的尺寸不同；

当声表面波谐振器处于工作模式时，菲涅尔区的叉指电极对激发的声表面波的传播方式为在所述叉指电极对的菲涅尔区内接近平面波传播。

可选的，电极孔径与声表面波波数的乘积与各向异性因子的商和d正相关；

电极孔径为叉指电极对中两个叉指电极沿第一方向重叠对应的区域的长度；第一方向为叉指电极的延伸方向；

各向异性因子表征在所述压电薄膜上表面区域对应的所述叉指电极对的声表面波传播的各向异性。

可选的，当纵向波数与横向波数的差值大于等于预设阈值时，各向异性因子满足以下公式：

其中，k₀为声表面波谐振器中，沿所述第一方向传播的声表面波的波数；PFA为能量流通角；k_y为声波的横向波数；b为各向异性因子；k_x为声波的纵向波数。

可选的，当能量流通角为零时，各向异性因子满足以下公式：

其中，k₀为声表面波谐振器中，沿所述第一方向传播的声表面波的波数；k_y为声波的横向波数；b为各向异性因子。

可选的，通过调整叉指电极的厚度，和/或叉指电极的占空比来调整d。

可选的，通过调整叉指电极的厚度与叉指电极的占空比的乘积来调整d。