[发明专利]一种声表面波谐振器

权利要求书

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；

所述叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；

所述叉指换能器包括叉指电极区域；

所述叉指电极区域包括叉指电极对；

所述叉指电极对的中心与所述声波谐振器的中心的距离长度满足以下公式：

d≧L+△x

其中，d为叉指电极对的菲涅尔区的长度；L为所述声表面波谐振器的长度的一半；△x为所述叉指电极对的中心与所述声表面波谐振器的中心之间的距离。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指电极区域包括第一区域和第二区域；

所述第一区域位于所述叉指换能器的中部；所述第一区域包括多个第一叉指电极，所述多个第一叉指电极中的每个第一叉指电极的尺寸相同，且每个第一叉指电极的占空比相同；

所述第二区域包括多个第二叉指电极，所述多个第二叉指电极中的每个第二叉指电极的尺寸不同；

当所述声表面波谐振器处于工作模式时，所述叉指电极对激发的声表面波的传播方式为在所述叉指电极对的菲涅尔区内接近平面波传播。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，电极孔径与声表面波波数的乘积与各向异性因子的商和所述d正相关；

所述电极孔径为所述叉指电极对中两个叉指电极沿第一方向重叠对应的区域的长度；所述第一方向为所述叉指电极的延伸方向；

所述各向异性因子表征在所述压电薄膜上表面区域对应的所述叉指电极对的声表面波传播的各向异性。

4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于，当纵向波数与横向波数的差值大于等于预设阈值时，所述各向异性因子满足以下公式：

其中，k₀为所述声表面波谐振器中，沿所述第一方向传播的声表面波的波数；PFA为能量流通角；k_y为声波的横向波数；b为各向异性因子；k_x为声波的纵向波数。

5.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于，当能量流通角为零时，所述各向异性因子满足以下公式：

其中，k₀为所述声表面波谐振器中，沿所述第一方向传播的声表面波的波数；k_y为声波的横向波数；b为各向异性因子。

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，通过调整所述叉指电极的厚度，和/或所述叉指电极的占空比来调整所述d。

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，通过调整所述叉指电极的厚度与所述叉指电极的占空比的乘积来调整所述d。

8.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器还包括第一汇流条和第二汇流条；

所述叉指电极对包括间隔设置的第一电极和第二电极；

所述第一电极与所述第一汇流条连接；

所述第二电极与所述第二汇流条连接。

9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述所述支撑衬底的材料包括硅、氧化硅-硅、绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator，SOI)、锗、石英、蓝宝石中的至少一种；

所述压电薄膜的材料包括铌酸锂和钽酸锂。

10.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指电极的材料包括铝、钨、铬、钛、铜、银和金中的至少一种金属材料。