[发明专利]一种pGMA聚合物薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111463329.8 申请日: 2021-12-02
公开(公告)号: CN113967576A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 陈果;何小珊;刘艳松;易泰民;王涛;黄景林;艾星;李俊 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B05D1/00 分类号: B05D1/00;C08F120/32
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 史丽红
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种pGMA聚合物薄膜的制备方法,包括如下步骤:1)将GMA作为单体装入iCVD设备的单体原料罐中,将DTBP作为引发剂装入iCVD设备的引发剂原料罐中,将待制备的样品放置在样品台上;2)加热单体和引发剂产生蒸汽;3)将加热丝加热,旋转样品台并通入冷却水,使待制备样品表面保持低温;4)将单体蒸汽和引发剂蒸汽通入真空反应腔,引发剂蒸汽在加热丝的高温作用下充分裂解诱导GMA单体聚合,在冷却的待制备样品基底表面沉积形成pGMA薄膜。本发明的制备方法,通过设置合适的温度能够避免过高的温度导致GMA单体变性形成胶状液体不易蒸发,同时能够避免过低的温度无法提供足够的饱和蒸气压,从而能够保证满足引发剂的裂解及单体的沉积条件。
搜索关键词: 一种 pgma 聚合物 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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