[发明专利]一种pGMA聚合物薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111463329.8 申请日: 2021-12-02
公开(公告)号: CN113967576A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 陈果;何小珊;刘艳松;易泰民;王涛;黄景林;艾星;李俊 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B05D1/00 分类号: B05D1/00;C08F120/32
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 史丽红
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 pgma 聚合物 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)将甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)作为单体装入引发式化学气相沉积(iCVD)设备的单体原料罐中,将二叔丁基过氧化物(DTBP)作为引发剂装入iCVD设备的引发剂原料罐中,将待制备的样品放置在样品台上;2)加热单体和引发剂产生蒸汽;3)将加热丝加热,旋转样品台并通入冷却水,使待制备样品表面保持低温;4)将单体蒸汽和引发剂蒸汽通入真空反应腔,引发剂蒸汽在加热丝的高温作用下充分裂解诱导GMA单体聚合,在冷却的待制备样品基底表面沉积形成pGMA薄膜;其中GMA单体加热温度为68-72℃,DTBP引发剂加热温度为85-90℃。

2.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,GMA单体、DTBP引发剂通入真空反应腔的气体流量比为0.5-2。

3.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,所述加热丝呈网状结构,由直径1mm,长100mm的钼丝编制而成。

4.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,采用石棉加热带对单体和引发剂的原料罐进行加热。

5.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,加热丝的加热温度为190-210℃,待制备样品表面温度为38-42℃。

6.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,样品台的转速为5-6rpm和9-10rpm交替旋转。

7.根据权利要求3所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,加热丝具有双层结构,上层与下层之间间隔9-11mm。

8.根据权利要求7所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,加热丝呈圆弧形曲面,上层加热丝曲面朝下凹,下层加热丝曲面朝上凸。

9.根据权利要求2所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,GMA单体、DTBP引发剂通入真空反应腔的气体流量为GMA:33%,DTBP:66%。

10.根据权利要求1所述的pGMA聚合物薄膜的制备方法,其特征在于,真空反应腔内的工作压力为35-45Pa。

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