[发明专利]热电堆传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202111447387.1 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114122245A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈达;刘孟彬 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;B81C1/00;G01J5/12;G01K7/02 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 吴凡 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板，热辐射感应区的热电堆结构板包括堆叠的功能层和基底层，热辐射感应区的功能层中形成有热电堆结构；在功能层背向基底层一侧的表面形成贯穿热辐射感应区的部分厚度功能层的盲孔；实现具有第一空腔的盖板与热电堆结构板的键合，第一空腔与热辐射感应区的功能层相对且与盲孔相连通；以盲孔露出的功能层为刻蚀停止层，形成贯穿盲孔上方基底层的底部连通孔；去除位于底部连通孔和盲孔之间的剩余功能层，形成连通孔，与第一空腔相连通；实现基板基底层的键合，基板与热辐射感应区的基底层之间形成有第二空腔，且第二空腔与连通孔相连通。本发明实施例有利于提升热电堆传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯集成电路（宁波）有限公司，未经中芯集成电路（宁波）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111447387.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
